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AENI Asian ( Shanghai / Guangzhou / Hong Kong) Service Center , the subsidiary of AENI Semiconductor Technology Co., Ltd. , is not only a professional plasma power supply technology institute but also a leading maintenance service center for AE (Advanced Energy), ENI (MKS) products in Asian Pacific Region. Working closely with the world's top experts on the plasma power supply technology, we has formed a team of specialists to provide our customers with more professional repair service in a timely manner and keep pace with the advancement of the power supply in plasma film production.

Conformability Service Plans, including equipment maintenance and technical inquiries, will be provided for our customers' convenience and satisfaction..

§ Services Scope Repair, maintenance, timing and upgrade service for the DC, middle frequency and RF plasma power supply of the international brands such as AE( Advanced Energy) and ENI(MKS); Used equipment for sales.
§ Service Guarantee: Professional technicians & Advanced testing equipments
§ Localized service systems Flexible service modes and Competitive price
§ Unit store with a complete set of back-up parts; FREE supply with the same model power supply during the service period to maintain your daily operation.

We focus on the repairing, testing and timing the DC and RF plasma power supply of the international brands including AE( Advanced Energy) and ENI(MKS) in the Asian Pacific region. Meanwhile, we also maintain and upgrade the RF generator used in the Semiconductor, Data storage, Opto-electronic, Vacuum coating, Panel display industries. AENI's headquarter is located in German. In order to better serve the ENI/AE DC power & RF generator users worldwide, we has established service centers in Guangzhou, Shanghai, Hong Kong and agencies in 18 countries and areas.

As one of the well-known vacuum and semiconductor technology facilitators, AENI is always among the top list in the application technology of the gas, power-supply and vacuum equipment. Our products have been widely applied to the materials science and procedure technology, ranging from semiconductor industry to the opto-electronic industry, from the surface coating industry to the food and pharmacy industry, all of which involve the gas-phase molecular reaction or the solid-phase molecular reaction in the preset environment so as to product different materials and coatings on the products surfaces. With the purpose of maintaining our customer's daily production, improving their finished products rate and output, their production ability and return of investment, we have integrated the edge-cutting technology in our power-supply and testing equipments. Therefore, we are able to monitor and control all the kinds of gas-related manufacturing procedure. AENI's service center in Shanghai and Guangzhou are dedicated to offer the technical service and support for enterprises in the China 's semiconductor and opto-electronic industry.
 

AE(Advanced Energy)Service Catalog

Ion Beam Drive

 ID-3500 、 ID-3501 、 IT-2500 、 IT-3500

DC Power Supply Series

MDX Series: MDX 5 、 MDX 10 、 MDX 20 、 MDX 30 、 MDX-052 、 MDX 1K 、 MDX 1.5K 、 MDX 500 、 MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW) PINNACLE Series: Pinnacle 6KW 、Pinnacle 12KW 、Pinnacle 10KW 、Pinnacle 20KW 、Pinnacle 8KW 、 Pinnacle 15KW 、PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW 、 Pinnacle Plus+ Dual output 5KW 、 Pinnacle Plus+ 10KW DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW 、 Pinnacle Diamond 10KW 、 Pinnacle Diamond 15KW MDX-L Series: MDX-L6 、 MDX-L 6kWHALO 、 MDX-L12 、 MDX-L 12M 、 MDX-L 12M 650 、 MDX-L18 SPARC Series: Sparc-le 20 、 Sparc-le V 、 Sparc VS E'Wave DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR

Low and Mid Frequency Series

PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 PE 5000 、 PE-10K 、 PE-20K 、 PE-30K 、 PE-1000SG   PE II PE II 5KW 、 PE II 10KW 、 PE II 60KW PDX PDX 500 、 PDX 900-2V 、 PDX 1250 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000 、 PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDZ 2200 、 MSD 350W PDW 600 、 PDW 2200 PDP 2500 、 PDP 3500 PEP 250 、 PEP 2500 、 PEP 5000 Dressler LFGS:LFGS 1250A 、 LFGS:LFGS 1250B 、 LFGS:LFGS 1250C 、 LFGS:LFGS 1250D

RF and High Frequency Series
FG RFG 80 、 RFG 1250 、 RFG 1250 HALO 、 RFG 1251 、 RFG 3000 、 RFG 3001 、 RFG 5500 、 RFG 2K-2V 、 RFDS 1250 、 RFDS 1250-A 、 RFDS 3000 、 RFDS 2Kw-2KV   APEX Apex 1513 、 Apex 2027 、 Apex 3013 、 Apex 4027 、 Apex 5513 、 Apex 7kW/13 、 Apex 10kW/13 、 Apex 3513 、 Apex 10013 、 Apex 8013 、 Atlas 2 、 Atlas 1513 、 Atlas 3013 、 Atlas 2504 、 Atlas 2027 、 Atlas 2012 、 Atlas 4012 、 Atlas 5002 、 Atlas 5012 、 Atlas 5013 、 Atlas 5027 、 Rapid F   RFX RFX 600 、 RFX 600A 、 RFX 1250 、 RFX 2500 、 RFX 5500 、 RFG-AZX   RFX II RFX II 1250 、 RFX II 3000 、 RFX II 5500   HFG HFG 2500 、 HFG 5000 、 HFG 4M   HFV HFV-3K 、 HFV-5K 、 HFV-8K 、 HFV-L 3KW   Ovation VHF:VHF-2760W 、 VHF-2060 、 VHF-2560 、 VHF-35162   ICP Generator:ICP-1KW 、 ICP-1.5KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW   Dressler HPG:HPG 03300 、 HPG 13150 、 HPG 13300 、 HPG 27300 Dressler Cesar: Cesar 0210 、 Cesar 0220(200v/400v) 、 Cesar 0225(200v/400v) 、 Cesar 0230(200v/400v) 、 Cesar 0250(200v/400v) 、 Cesar 026 、 Cesar 0410 、 Cesar 0420(200v/400v) 、 Cesar 0425(200v/400v) 、 Cesar 0450(200v/400v) 、 Cesar 046 、 Cesar 1310 、 Cesar 1312 、 Cesar 1320(200v/400v) 、 Cesar 1325(200v/400v) 、 Cesar 133 、 Cesar 1330(200v/400v) 、 Cesar 1350(200v/400v) 、 Cesar 136 、 Cesar 2710 、 Cesar 2720(200v/400v) 、 Cesar 273 、 Cesar 2740(200v/4000v) 、 Cesar 276 、 Cesar 4010 、 Cesar 4020(200v/400v) 、 Cesar 403 、 Cesar 4040(200v/400v) 、 Cesar 405 、 Cesar 6010 、 Cesar 6020(200v/400v) 、 Cesar 603 、 Cesar 605

RFPP

RF-5S 250/500W 、 RF-10 、 RF-10S 、 RF-20 、 RF-20S 、 RF-25 、 RF-30S 、 RF-30H 、 RF-35 、 RF-40 、 RF-50 、 RF-50S 、 RF -10M 、 RF-10MWC 、 RF-20R 、 RF -20M 、 RF -25M 、 LF-5 、 LF-10 、 LF-20 、 LF-30 、 LF-50 、 HF-5 、 HF-10 、 HF-100 、 HF-150

Match Networks

AL-10 、 AL-15 AM-5 、 AM-10 、 AM-20 、 AM-25 、 AM-30 、 AM-35 、 AM-40 、 AM-50 、 AM-100 、 AM-150 、 AM-250 、 AM-300 、 AMU10E-2 、 AMN-2000 、 AMNPS -2A 、 ATX-600 、 ATX-1250 、 ATX-2500 、 ATL-100 、 AZX-10 、 AZX-40 、 AZX-63 、 AZX-72 、 AZX-90 、 AZX-Dome 、 Navigator 640 、 Navigator 1013 、 Navigator 1013-P15 、 Navigator 1013-L35 、 Navigator 2502 、 Navigator 3013 、 Navigator 3013-ICP 、 Navigator 4027 、 Navigator 4040 、 Navigator 5060 、 Navigator 5513 、 Navigator Dual 5513-2060 、 Navigator Dual 5513-5502 、 Navigator 5513-L80 、 Navigator 5513-T150 、 Navigator 7013-L90 、 Navigator 10013 、 Navigator 10013-L140 、 Navigator 25013 、 Navigator 25027 、 Navigator 2040 、 Navigator 2060 VZX-5000 、 VZX-9100 、 TL-5 、 TL-10 、 TL-15 、 LM-5 、 LM-10 、 LM-30 、 LM 8000 、 LM-IPX 、 LM Others 、 Mercury 1K 、 Mercury 2K 、 Mercury 3K 、 Mercury 10K 、   ICP-1KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW 、 ICP-5KW 、 P.5000 、 FTMS-2KW 、 MFA Series 、 FM Series 、 SFM Series Dressler VM:VM 0415-AW 、 VM 0450 W-ICP 、 VM 1000A 、 VM 1500AW 、 VM 1500 W-ICP 、 VM 2715-AW 、 VM 5000 W-10T 、 VM 5000 W-2T 、 VM 5000 W-4T 、 VM 5000 W-6T 、 VM 5000 W-8T 、 VM-5000 W-ICP 、 VM 600A



ENI(MKS) Service Catalog

ENI(MKS) DC Power Supply Series

DCG Series:DCG-75 、 DCG-75E 、 DCG-100 、 DCG-100Z 、 DCG-100E 、 DCG-150 、 DCG-150E 、 DCG-200 、 DCG-200Z 、 DCG-400 、 DCG-600 RPG Series:RPG-50 、 RPG-100 、 RPG-200 、 Polara -260A OPTIMA Series:OPT-50 、 OPT-100 、 OPT-200 、 OPT-400 、 OPT-600

ENI(MKS) RF Generator Series

DPG(RPDG) Series:DPG-10-05 、 DPG-10 ACG Series:ACG-3 、 ACG-3B 、 ACG-5 、 ACG-6 、 ACG-6B 、 ACG-10 、 ACG-10B 、 2100L -15P 5100L 600L 600P 601P OEM Series:OEM-6 、 OEM -6A 、 OEM-6B 、 OEM-12 、 OEM -12A 、 OEM -12A -XL 、 OEM-12B 、 OEM-12-B3 、 OEM -25A 、 OEM-25-XL 、 OEM-28B 、 OEM-50 、 OEM-1250 、 OEM-2000 、 TEL-7000-RF SPECTRUM Series:B-1513 、 B-3013 、 B-10013 、 B-10002 、 B-5002 、 B-11002 、 B-5513Z 、 B-10513 SUREPOWER Series:QL-3513 、 QL-6513 、 QL-10513 、 QL-13013 GENESIS(GHW 、 GMW 、 GEW 、 VHF)Series:GHW-12 、 GHW-25 、 GHW-50 、 GHW-80 、 GHW-2527 、 GHW-3040 、 GHW -58A 、 GHW- 85A 、 GMW -25A 、 GMW-25Z 、 GEW-2527 、 GEW-3040 NOVA Series:NOVA -25A 、 NOVA-25 、 NOVA -50A RACK Series :RACK-AM-300 OTHERS DPGS-10 、 DPGD-10 、 LPG -6A 、 LPG -12A 、 PL1-HF 、 PL2-HF 、 PL3-HF 、 Quanta-10 、 HF-300 、 HF-650 、 HPG-2

ENI(MKS) Matching Networks

D Series:MW-5D 、 MW-10D MW-5D-01B 、 MW-5DM12 、 MW-25D -05M 1 、 MW-25LD 、 MW-50 LD Series:MWD-25LD 、 MWD-55LD H Series; MWH-5 、 MWH-25 、 MWH-100 M Series:MWM-25 DUAL Series:MW2-30   OTHERS:MH -1001A 、 MH -2002A 、 RFC-5MW 、 RFC-6 、 MHC-1001 、 MHC-2002 、 VL-400 、 ENI-2500W-13.56